鉛合金薄膜の高周波プラズマ酸化法とそのジョセフソン接合への応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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鉛合金薄膜の高周波プラズマ酸化法とそのジョセフソン接合への応用に関する研究
- 著者名
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和田, 正人
- 著者別名
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ワダ, マサト
- 学位授与大学
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早稲田大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第616号
- 学位授与年月日
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1987-02-19
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
鉛合金薄膜の高周波プラズマ酸化法とそのジョセフソン接合への応用に関する研究
和田, 正人
ワダ, マサト
早稲田大学
工学博士
乙第616号
1987-02-19
博士論文