Structure and properties of a-Si : H films prepared at high-deposition rate 高速堆積a-Si : H膜の構造と特性
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著者
書誌事項
- タイトル
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Structure and properties of a-Si : H films prepared at high-deposition rate
- タイトル別名
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高速堆積a-Si : H膜の構造と特性
- 著者名
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上田, 将人
- 著者別名
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ウエダ, マサト
- 学位授与大学
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広島大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第637号
- 学位授与年月日
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1987-03-24
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (7コマ目)