電子部品の微細加工に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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電子部品の微細加工に関する研究
- 著者名
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小薮, 國夫
- 著者別名
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コヤブ, クニオ
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3195号
- 学位授与年月日
-
1987-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
電子部品の微細加工に関する研究
小薮, 國夫
コヤブ, クニオ
北海道大学
工学博士
乙第3195号
1987-03-25
博士論文
