Quantum chemical studies on electron resists for VLSI 超LSI用電子線レジストの量子化学的研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Quantum chemical studies on electron resists for VLSI
- タイトル別名
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超LSI用電子線レジストの量子化学的研究
- 著者名
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多田, 宰
- 著者別名
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タダ, ツカサ
- 学位授与大学
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京都大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第6209号
- 学位授与年月日
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1987-03-23
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (9コマ目)