Studies of fragment-emission cross sections by electron impact on simple molecules used for plasma processing 電子衝突によって生じるプラズマプロセス用分子の分解生成種の発光断面積の研究

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著者

    • 佐藤, 俊彦 サトウ, トシヒコ

書誌事項

タイトル

Studies of fragment-emission cross sections by electron impact on simple molecules used for plasma processing

タイトル別名

電子衝突によって生じるプラズマプロセス用分子の分解生成種の発光断面積の研究

著者名

佐藤, 俊彦

著者別名

サトウ, トシヒコ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1975号

学位授与年月日

1987-06-02

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000017292
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000017314
  • NDL書誌ID
    • 000000181606
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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