Investigation regarding impurity diffusion and point defects in silicon シリコン中の不純物拡散および点欠陥に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Investigation regarding impurity diffusion and point defects in silicon
- タイトル別名
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シリコン中の不純物拡散および点欠陥に関する研究
- 著者名
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水尾, 祥一
- 著者別名
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ミズオ, ショウイチ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第6920号
- 学位授与年月日
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1984-06-14
注記・抄録
博士論文