Investigation regarding impurity diffusion and point defects in silicon シリコン中の不純物拡散および点欠陥に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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Investigation regarding impurity diffusion and point defects in silicon
- Other Title
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シリコン中の不純物拡散および点欠陥に関する研究
- Author
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水尾, 祥一
- Author(Another name)
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ミズオ, ショウイチ
- University
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東京大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第6920号
- Degree year
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1984-06-14
Note and Description
博士論文