Laser beam processing of polycrystalline silicon and silicides for LSI fabrication 集積回路技術における多結晶シリコン及びシリサイドのレーザアニールに関する研究
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
Laser beam processing of polycrystalline silicon and silicides for LSI fabrication
- Other Title
-
集積回路技術における多結晶シリコン及びシリサイドのレーザアニールに関する研究
- Author
-
柴田, 直
- Author(Another name)
-
シバタ, タダシ
- University
-
東京大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第6998号
- Degree year
-
1984-09-20
Note and Description
博士論文