高周波スパッタ法による薄膜エレクトロルミネッセンス素子に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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高周波スパッタ法による薄膜エレクトロルミネッセンス素子に関する研究
- 著者名
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三上, 明義
- 著者別名
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ミカミ, アキヨシ
- 学位授与大学
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大阪市立大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第702号
- 学位授与年月日
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1985-03-25
注記・抄録
博士論文
高周波スパッタ法による薄膜エレクトロルミネッセンス素子に関する研究
三上, 明義
ミカミ, アキヨシ
大阪市立大学
工学博士
甲第702号
1985-03-25
博士論文