シリコン集積回路における熱酸化膜に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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シリコン集積回路における熱酸化膜に関する研究
- 著者名
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山部, 紀久夫
- 著者別名
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ヤマベ, キクオ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第4213号
- 学位授与年月日
-
1987-07-28
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (6コマ目)
シリコン集積回路における熱酸化膜に関する研究
山部, 紀久夫
ヤマベ, キクオ
大阪大学
工学博士
乙第4213号
1987-07-28
博士論文