集積回路微細加工のための反応性スパッタエッチング技術の開発に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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集積回路微細加工のための反応性スパッタエッチング技術の開発に関する研究
- Author
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黒木, 幸令
- Author(Another name)
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クロキ, ユキノリ
- University
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九州大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第3075号
- Degree year
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1983-09-27
Note and Description
博士論文