Studies on the synthesis of radiation-sensitive polymers and their lithographic application 放射線感応性ポリマーの合成とリソグラフィー材料への応用に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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Studies on the synthesis of radiation-sensitive polymers and their lithographic application
- Other Title
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放射線感応性ポリマーの合成とリソグラフィー材料への応用に関する研究
- Author
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名手, 和男
- Author(Another name)
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ナテ, カズオ
- University
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大阪大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第4298号
- Degree year
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1987-12-24
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (5コマ目)
