Characterization and properties of amorphous Si: N and Si: N: H alloys 非晶質シリコン・窒素およびシリコン・窒素・水素系の評価とその性質
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Bibliographic Information
- Title
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Characterization and properties of amorphous Si: N and Si: N: H alloys
- Other Title
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非晶質シリコン・窒素およびシリコン・窒素・水素系の評価とその性質
- Author
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佐々木, 吾朗
- Author(Another name)
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ササキ, ゴロウ
- University
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京都大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第3117号
- Degree year
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1984-03-23
Note and Description
博士論文
