SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究
- 著者名
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朴, 善宇
- 著者別名
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バク, センウ
- 学位授与大学
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上智大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第82号
- 学位授与年月日
-
1988-03-31
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究
朴, 善宇
バク, センウ
上智大学
工学博士
甲第82号
1988-03-31
博士論文