超精密加工面の評価への光干渉の応用に関する研究 : 特に観察面の振動の影響を受けない方法について
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Bibliographic Information
- Title
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超精密加工面の評価への光干渉の応用に関する研究 : 特に観察面の振動の影響を受けない方法について
- Author
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安達, 正明
- Author(Another name)
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アダチ, マサアキ
- University
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大阪府立大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第563号
- Degree year
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1988-05-30
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (4コマ目)