CZ法シリコン結晶育成における酸素濃度制御に関する研究

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Author

    • 干川, 圭吾 ホシカワ, ケイゴ

Bibliographic Information

Title

CZ法シリコン結晶育成における酸素濃度制御に関する研究

Author

干川, 圭吾

Author(Another name)

ホシカワ, ケイゴ

University

東京工業大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第1687号

Degree year

1987-05-31

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (6コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000040752
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000040825
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000205066
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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