集積回路に用いられるシリコン薄膜の物性とその応用の研究

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Author

    • 牧野, 孝裕 マキノ, タカヒロ

Bibliographic Information

Title

集積回路に用いられるシリコン薄膜の物性とその応用の研究

Author

牧野, 孝裕

Author(Another name)

マキノ, タカヒロ

University

京都大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第6649号

Degree year

1988-09-24

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (6コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000041081
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000041155
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000205395
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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