半導体のプラズマエッチングにおける反応機構
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著者
書誌事項
- タイトル
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半導体のプラズマエッチングにおける反応機構
- 著者名
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早坂, 伸夫
- 著者別名
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ハヤサカ, ノブオ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第3313号
- 学位授与年月日
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1984-03-27
注記・抄録
博士論文
半導体のプラズマエッチングにおける反応機構
早坂, 伸夫
ハヤサカ, ノブオ
東北大学
工学博士
甲第3313号
1984-03-27
博士論文