光CVD法およびプラズマVPD法によるリン化亜鉛(Zn[3]P[2])薄膜の製作に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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光CVD法およびプラズマVPD法によるリン化亜鉛(Zn[3]P[2])薄膜の製作に関する研究
- 著者名
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加藤, 喜峰
- 著者別名
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カトウ, ヨシミネ
- 学位授与大学
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慶應義塾大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第903号
- 学位授与年月日
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1988-07-06
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (8コマ目)