微小シリコン電界効果トランジスタの製作法に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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微小シリコン電界効果トランジスタの製作法に関する研究
- Author
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成毛, 康雄
- Author(Another name)
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ナルケ, ヤスオ
- University
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東京工業大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第1552号
- Degree year
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1984-03-26
Note and Description
博士論文