SOI構造を用いた3次元デバイスの製作に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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SOI構造を用いた3次元デバイスの製作に関する研究
- Author
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向井, 良一
- Author(Another name)
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ムカイ, リョウイチ
- University
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東海大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第107号
- Degree year
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1988-09-19
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (3コマ目)