圧電性窒化アルミニウムと酸化亜鉛スパッタ膜の作製法と弾性表面波素子への応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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圧電性窒化アルミニウムと酸化亜鉛スパッタ膜の作製法と弾性表面波素子への応用
- 著者名
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武田, 文雄
- 著者別名
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タケダ, フミオ
- 学位授与大学
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京都大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第6686号
- 学位授与年月日
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1988-11-24
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (7コマ目)
圧電性窒化アルミニウムと酸化亜鉛スパッタ膜の作製法と弾性表面波素子への応用
武田, 文雄
タケダ, フミオ
京都大学
工学博士
乙第6686号
1988-11-24
博士論文