高精度・高品質Si気相エピタキシャル成長
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著者
書誌事項
- タイトル
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高精度・高品質Si気相エピタキシャル成長
- 著者名
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鈴木, 誉也
- 著者別名
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スズキ, タカヤ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第4865号
- 学位授与年月日
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1989-01-11
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
高精度・高品質Si気相エピタキシャル成長
鈴木, 誉也
スズキ, タカヤ
東北大学
工学博士
乙第4865号
1989-01-11
博士論文