集束イオン注入ドーピングのMBE結晶成長への応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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集束イオン注入ドーピングのMBE結晶成長への応用に関する研究
- 著者名
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高森, 晃
- 著者別名
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タカモリ, アキラ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第4665号
- 学位授与年月日
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1989-03-02
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
集束イオン注入ドーピングのMBE結晶成長への応用に関する研究
高森, 晃
タカモリ, アキラ
大阪大学
工学博士
乙第4665号
1989-03-02
博士論文
