半導体中微量軽元素不純物の荷電粒子放射化分析による研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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半導体中微量軽元素不純物の荷電粒子放射化分析による研究
- 著者名
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伊東, 芳子
- 著者別名
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イトウ, ヨシコ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第4750号
- 学位授与年月日
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1989-05-19
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (5コマ目)
半導体中微量軽元素不純物の荷電粒子放射化分析による研究
伊東, 芳子
イトウ, ヨシコ
大阪大学
工学博士
乙第4750号
1989-05-19
博士論文