Studies on thin films of functional polymers for electronic applications : molecular design in focus on EB resist materials 機能性高分子薄膜のエレクトロニクスへの応用 : EBレジスト材料を中心とした分子設計
この論文にアクセスする
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
Studies on thin films of functional polymers for electronic applications : molecular design in focus on EB resist materials
- タイトル別名
-
機能性高分子薄膜のエレクトロニクスへの応用 : EBレジスト材料を中心とした分子設計
- 著者名
-
小口, 清
- 著者別名
-
オグチ, キヨシ
- 学位授与大学
-
上智大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第60号
- 学位授与年月日
-
1989-07-11
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (8コマ目)