各種プラズマ対向材料の真空工学的特性に関する研究 : 炭素系材料を中心として
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著者
書誌事項
- タイトル
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各種プラズマ対向材料の真空工学的特性に関する研究 : 炭素系材料を中心として
- 著者名
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広畑, 優子
- 著者別名
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ヒロハタ, ユウコ
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3593号
- 学位授与年月日
-
1989-06-30
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
各種プラズマ対向材料の真空工学的特性に関する研究 : 炭素系材料を中心として
広畑, 優子
ヒロハタ, ユウコ
北海道大学
工学博士
乙第3593号
1989-06-30
博士論文
