結晶Siにおけるイオン注入軽元素不純物の挙動に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
結晶Siにおけるイオン注入軽元素不純物の挙動に関する研究
- 著者名
-
伊藤, 久義
- 著者別名
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イトウ, ヒサヨシ
- 学位授与大学
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筑波大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
博甲第460号
- 学位授与年月日
-
1987-03-25
注記・抄録
博士論文
1986
【要旨】
目次
- 目次 (5コマ目)
結晶Siにおけるイオン注入軽元素不純物の挙動に関する研究
伊藤, 久義
イトウ, ヒサヨシ
筑波大学
工学博士
博甲第460号
1987-03-25
博士論文
1986
【要旨】