ジクロルシランをソースガスとするシリコンの減圧エピタキシャル成長に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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ジクロルシランをソースガスとするシリコンの減圧エピタキシャル成長に関する研究
- 著者名
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石谷, 明彦
- 著者別名
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イシタニ, アキヒコ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第9061号
- 学位授与年月日
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1988-12-15
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
ジクロルシランをソースガスとするシリコンの減圧エピタキシャル成長に関する研究
石谷, 明彦
イシタニ, アキヒコ
東京大学
工学博士
乙第9061号
1988-12-15
博士論文