GaAs化合物半導体中への電子ビームドーピングに関する研究 GaAs　カゴウブツ　ハンドウタイチュウ　エノ　デンシ　ビーム　ドーピング　ニカンスル　ケンキュウ

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Author

    • 竹田, 明弘 タケダ, アキヒロ

Bibliographic Information

Title

GaAs化合物半導体中への電子ビームドーピングに関する研究

Other Title

GaAs　カゴウブツ　ハンドウタイチュウ　エノ　デンシ　ビーム　ドーピング　ニカンスル　ケンキュウ

Author

竹田, 明弘

Author(Another name)

タケダ, アキヒロ

University

名古屋工業大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第37号

Degree year

1990-03-23

Note and Description

博士論文

主査：和田　隆夫

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
1access

Keywords

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000065472
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000065646
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000229786
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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