電子ビーム露光による大規模集積回路の製造における近接効果補正に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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電子ビーム露光による大規模集積回路の製造における近接効果補正に関する研究
- 著者名
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町田, 泰秀
- 著者別名
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マチダ, ヤスヒデ
- 学位授与大学
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九州大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第4675号
- 学位授与年月日
-
1990-02-28
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
電子ビーム露光による大規模集積回路の製造における近接効果補正に関する研究
町田, 泰秀
マチダ, ヤスヒデ
九州大学
工学博士
乙第4675号
1990-02-28
博士論文
