粒子ビームを用いた半導体の表面処理および微細加工に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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粒子ビームを用いた半導体の表面処理および微細加工に関する研究
- 著者名
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桑野, 博喜
- 著者別名
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クワノ, ヒロキ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第5267号
- 学位授与年月日
-
1990-03-14
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (5コマ目)
粒子ビームを用いた半導体の表面処理および微細加工に関する研究
桑野, 博喜
クワノ, ヒロキ
東北大学
工学博士
乙第5267号
1990-03-14
博士論文