SiH[4]-希ガス混合気体中の電子スウォーム特性と電子衝突断面積に関する研究

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Author

    • 倉知, 正 クラチ, マサシ

Bibliographic Information

Title

SiH[4]-希ガス混合気体中の電子スウォーム特性と電子衝突断面積に関する研究

Author

倉知, 正

Author(Another name)

クラチ, マサシ

University

慶應義塾大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第1015号

Degree year

1990-03-31

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (9コマ目)
1access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000066112
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000066286
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000230426
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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