微細集束イオンビーム形成用静電型集束偏向光学系に関する研究 A study on the electrostatic focusing-deflection optics for finely focused ion beams

Access this Article

Search this Article

Author

    • 津曲, 隆 ツマガリ, タカシ

Bibliographic Information

Title

微細集束イオンビーム形成用静電型集束偏向光学系に関する研究

Other Title

A study on the electrostatic focusing-deflection optics for finely focused ion beams

Author

津曲, 隆

Author(Another name)

ツマガリ, タカシ

University

豊橋技術科学大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第7号

Degree year

1990-03-13

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (8コマ目)
1access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000067076
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000067250
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000231390
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

Export

Page Top