超微細高輝度集束イオンビーム装置の開発研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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超微細高輝度集束イオンビーム装置の開発研究
- 著者名
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相原, 龍三
- 著者別名
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アイハラ, リュウゾウ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第5062号
- 学位授与年月日
-
1990-06-22
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (5コマ目)
超微細高輝度集束イオンビーム装置の開発研究
相原, 龍三
アイハラ, リュウゾウ
大阪大学
工学博士
乙第5062号
1990-06-22
博士論文