超高純度フッ化水素の精製とその超LSI技術への応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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超高純度フッ化水素の精製とその超LSI技術への応用に関する研究
- 著者名
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三木, 正博
- 著者別名
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ミキ, ノブヒロ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第5291号
- 学位授与年月日
-
1990-05-09
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
超高純度フッ化水素の精製とその超LSI技術への応用に関する研究
三木, 正博
ミキ, ノブヒロ
東北大学
工学博士
乙第5291号
1990-05-09
博士論文