Synthetic studies on thermally stable photosensitive condensation polymers for photoresist applications フォトレジストのための熱的に安定な感光性縮合系高分子の合成に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Synthetic studies on thermally stable photosensitive condensation polymers for photoresist applications
- タイトル別名
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フォトレジストのための熱的に安定な感光性縮合系高分子の合成に関する研究
- 著者名
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Padmanaban, Munirathina
- 著者別名
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パドマナバン, ムニラチュナ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第2140号
- 学位授与年月日
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1990-03-26
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (18コマ目)