A study on reactive ion beam etching for surface emitting lasers 面発光レーザ製作のための反応性イオンビームエッチングに関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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A study on reactive ion beam etching for surface emitting lasers
- Other Title
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面発光レーザ製作のための反応性イオンビームエッチングに関する研究
- Author
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田所, 貴志
- Author(Another name)
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タドコロ, タカシ
- University
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東京工業大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第2177号
- Degree year
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1990-03-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (5コマ目)