A study on reactive ion beam etching for surface emitting lasers 面発光レーザ製作のための反応性イオンビームエッチングに関する研究

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Author

    • 田所, 貴志 タドコロ, タカシ

Bibliographic Information

Title

A study on reactive ion beam etching for surface emitting lasers

Other Title

面発光レーザ製作のための反応性イオンビームエッチングに関する研究

Author

田所, 貴志

Author(Another name)

タドコロ, タカシ

University

東京工業大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第2177号

Degree year

1990-03-26

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (5コマ目)
1access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000069534
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000069720
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000233848
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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