光プロセス技術を用いた電子材料薄膜の作製及びその評価
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著者
書誌事項
- タイトル
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光プロセス技術を用いた電子材料薄膜の作製及びその評価
- 著者名
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大坪, 茂
- 著者別名
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オオツボ, シゲル
- 学位授与大学
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金沢大学
- 取得学位
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学術博士
- 学位授与番号
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甲第970号
- 学位授与年月日
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1990-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
光プロセス技術を用いた電子材料薄膜の作製及びその評価
大坪, 茂
オオツボ, シゲル
金沢大学
学術博士
甲第970号
1990-03-25
博士論文