高硬度窒化ほう素膜の室温合成
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著者
書誌事項
- タイトル
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高硬度窒化ほう素膜の室温合成
- 著者名
-
安東, 靖典
- 著者別名
-
アンドウ, ヤスノリ
- 学位授与大学
-
大阪大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第5243号
- 学位授与年月日
-
1991-02-01
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
- 1-1 窒化ほう素の物性と薄膜化 / p1 (0006.jp2)
- 1-2 高硬度膜の必要性 / p4 (0009.jp2)
- 1-3 イオン蒸着薄膜形成法 / p8 (0013.jp2)
- 第2章 イオン蒸着薄膜形成装置と実験方法 / p11 (0016.jp2)
- 2-1 緒論 / p11 (0016.jp2)
- 2-2 蒸着速度とイオンビーム電流密度について / p11 (0016.jp2)
- 2-3 イオン蒸着薄膜形成装置の構成とその性能 / p13 (0018.jp2)
- 2-4 成膜実験方法概要 / p24 (0029.jp2)
- 2-5 評価方法 / p25 (0030.jp2)
- 2-6 エネルギー粒子の入射による効果 / p27 (0032.jp2)
- 第3章 イオン蒸着法による窒化ほう素膜の作製 / p34 (0039.jp2)
- 3-1 緒論 / p34 (0039.jp2)
- 3-2 組成制御 / p34 (0039.jp2)
- 3-3 膜構造 / p39 (0044.jp2)
- 3-4 硬度 / p53 (0058.jp2)
- 3-5 結論 / p55 (0060.jp2)
- 第4章 窒素と不活性ガスとの混合イオンによる結品化制御 / p57 (0062.jp2)
- 4-1緒論 / p57 (0062.jp2)
- 4-2 実験方法 / p58 (0063.jp2)
- 4-3 混合ガスイオンによる結品化制御 / p58 (0063.jp2)
- 4-4 混合ガスイオンの効果に関する考察 / p65 (0070.jp2)
- 4-5 混合ガスイオンによる硬度への効果 / p73 (0078.jp2)
- 4-6 結論 / p76 (0081.jp2)
- 第5章 窒化ほう素膜の特性 / p77 (0082.jp2)
- 5-1 緒論 / p77 (0082.jp2)
- 5-2 実験方法 / p78 (0083.jp2)
- 5-3 摩耗特性 / p81 (0086.jp2)
- 5-4 結論 / p91 (0096.jp2)
- 第6章 結論 / p92 (0097.jp2)
- 参考文献 / p95 (0100.jp2)
- 謝辞 / (0103.jp2)
- 発表論文リスト / (0104.jp2)
- 参考発表論文リスト / (0105.jp2)
