レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究
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Bibliographic Information
- Title
-
レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究
- Author
-
長友, 正平
- Author(Another name)
-
ナガトモ, ショウヘイ
- University
-
大阪大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第5383号
- Degree year
-
1991-03-14
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0005.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
- 1-1 研究の背景 / p1 (0006.jp2)
- 1-2 研究の目的 / p4 (0008.jp2)
- 1-3 論文の構成 / p7 (0009.jp2)
- 第2章 レーザー加工装置の基礎原理 / p9 (0010.jp2)
- 2-1 はじめに / p9 (0010.jp2)
- 2-2 レーザー加工法の基礎 / p10 (0011.jp2)
- 2-3 フェライトのレーザー加工法とその特徴 / p14 (0013.jp2)
- 2-4 センダスト/フェライト積層構造のレーザー加工 / p30 (0021.jp2)
- 2-5 まとめ / p41 (0026.jp2)
- 第3章 レーザー誘起熱化学反応加工装置の設計製作 / p42 (0027.jp2)
- 3-1 はじめに / p42 (0027.jp2)
- 3-2 レーザービーム集束理論 / p42 (0027.jp2)
- 3-3 レーザービーム集束光学系と同時観察系 / p53 (0032.jp2)
- 3-4 精密3軸ステージ / p56 (0034.jp2)
- 3-5 ドライエッチングチャンバーの光軸補正 / p59 (0035.jp2)
- 3-6 ガス制御系 / p63 (0037.jp2)
- 3-7 まとめ / p67 (0039.jp2)
- 第4章 量産型レーザー加工装置の開発 / p69 (0040.jp2)
- 4-1 はじめに / p69 (0040.jp2)
- 4-2 2ビームレーザー光学系の設計 / p69 (0040.jp2)
- 4-3 2ビーム光学系の設計 / p75 (0043.jp2)
- 4-4 2ビーム光学系の製作 / p78 (0045.jp2)
- 4-5 2ビーム光学系の改良設計 / p86 (0049.jp2)
- 4-6 マルチビームの可能性検討 / p88 (0050.jp2)
- 4-7 まとめ / p88 (0050.jp2)
- 第5章 レーザー誘起熱化学反応加工の応用 / p90 (0051.jp2)
- 5-1 はじめに / p90 (0051.jp2)
- 5-2 Mn-Znフェライトの超狭トラック加工 / p90 (0051.jp2)
- 5-3 MIG型ヘッドのトラック加工 / p92 (0052.jp2)
- 5-4 フェライト以外の材料加工の検討 / p99 (0055.jp2)
- 5-5 まとめ / p100 (0056.jp2)
- 第6章 結論 / p101 (0056.jp2)
- 参考文献 / p103 (0057.jp2)
- 研究業績 / p105 (0058.jp2)
- 謝辞 / p107 (0059.jp2)
- 付録 / p108 (0060.jp2)
