低速電子線照射による絶縁物からの二次電子放出に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
低速電子線照射による絶縁物からの二次電子放出に関する研究
- 著者名
-
児玉, 哲司
- 著者別名
-
コダマ, テツジ
- 学位授与大学
-
名古屋大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
甲第2457号
- 学位授与年月日
-
1991-03-25
注記・抄録
博士論文
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (課程) 学位授与年月日:平成3年3月25日
目次
- 目次 / (0004.jp2)
- 1 序論 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
- 1.2 本研究の目的 / p7 (0012.jp2)
- 1.3 本論文の構成 / p8 (0013.jp2)
- 2 絶縁物表面の帯電 / p13 (0018.jp2)
- 2.1 緒言 / p13 (0018.jp2)
- 2.2 絶縁物表面の観察 / p13 (0018.jp2)
- 2.3 絶縁物表面の形状が観察される条件 / p15 (0020.jp2)
- 2.4 電子線照射による影響 / p15 (0020.jp2)
- 2.5 二次電子放出率との関連 / p19 (0024.jp2)
- 2.6 二次電子放出率 / p25 (0030.jp2)
- 2.7 検討 / p28 (0033.jp2)
- 2.8 結言 / p33 (0038.jp2)
- 3 SEMによる絶縁物表面電位の測定法 / p38 (0043.jp2)
- 3.1 緒言 / p38 (0043.jp2)
- 3.2 電位コントラスト / p38 (0043.jp2)
- 3.3 容量結合モデル / p39 (0044.jp2)
- 3.4 容量結合モデルの問題点 / p43 (0048.jp2)
- 3.5 絶縁物表面の電位測定 / p45 (0050.jp2)
- 3.6 結言 / p48 (0053.jp2)
- 4 絶縁物表面電位の測定結果と物理モデルの検討 / p59 (0064.jp2)
- 4.1 緒言 / p59 (0064.jp2)
- 4.2 測定結果 / p59 (0064.jp2)
- 4.3 物理モデルの検討 / p65 (0070.jp2)
- 4.4 結言 / p67 (0072.jp2)
- 5 結論 / p71 (0076.jp2)
- 5.1 本研究の成果 / p71 (0076.jp2)
- 5.2 今後の課題 / p73 (0078.jp2)