セラミックスの熱プラズマ超高速CVD
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著者
書誌事項
- タイトル
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セラミックスの熱プラズマ超高速CVD
- 著者名
-
村上, 秀之
- 著者別名
-
ムラカミ, ヒデユキ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第9035号
- 学位授与年月日
-
1991-03-29
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (3コマ目)
- 第1章 緒言/p1 (7コマ目)
- 1-1 背景/p1 (7コマ目)
- 1-2 熱プラズマとは/p2 (8コマ目)
- 1-3 熱プラズマの応用例/p6 (12コマ目)
- 1-4 ハイブリッドプラズマトーチ開発/p10 (16コマ目)
- 1-5 本研究の目的/p11 (17コマ目)
- 第1章の参考文献/p14 (20コマ目)
- 第2章 プラズマの流体解析/p16 (22コマ目)
- 2-1 はじめに/p16 (22コマ目)
- 2-2 計算モデル/p19 (25コマ目)
- 2-3 理論及び境界条件/p20 (26コマ目)
- 2-4 計算方法/p28 (34コマ目)
- 2-5 結果及び考察/p31 (37コマ目)
- 2-6 第2章のまとめ/p45 (51コマ目)
- 第2章の参考文献/p46 (52コマ目)
- 第3章 超高速熱プラズマCVD法開発/p49 (55コマ目)
- 3-1 概要/p49 (55コマ目)
- 3-2 装置及び手順/p51 (57コマ目)
- 3-3 プラズマ特性評価/p59 (65コマ目)
- 3-4 セラミックスの超高速堆積/p75 (81コマ目)
- 3-5 考察/p103 (109コマ目)
- 3-6 第3章のまとめ/p114 (120コマ目)
- 第3章の参考文献/p115 (121コマ目)
- 第4章 総括/p117 (123コマ目)
- 謝辞 (125コマ目)