分析電子顕微鏡によるX線微小部分析法とその応用に関する研究

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著者

    • 堀田, 善治 ホリタ, ゼンジ

書誌事項

タイトル

分析電子顕微鏡によるX線微小部分析法とその応用に関する研究

著者名

堀田, 善治

著者別名

ホリタ, ゼンジ

学位授与大学

九州大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4986号

学位授与年月日

1991-07-29

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 分析電子顕微鏡(AEM)の機能 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 特性X線による分析 / p1 (0007.jp2)
  5. 1.3 組成決定 / p2 (0008.jp2)
  6. 1.4 k因子 / p3 (0009.jp2)
  7. 1.5 特性X線強度測定上の問題点 / p9 (0015.jp2)
  8. 1.6 吸収補正 / p20 (0026.jp2)
  9. 1.7 本研究の概要 / p23 (0029.jp2)
  10. 第2章 外挿法の原理 / p25 (0031.jp2)
  11. 2.1 序言 / p25 (0031.jp2)
  12. 2.2 外挿法の基本式 / p25 (0031.jp2)
  13. 2.3 膜厚による外挿 / p26 (0032.jp2)
  14. 2.4 特性X線強度による外挿 / p28 (0034.jp2)
  15. 2.5 外挿法の有効利用のための条件 / p36 (0042.jp2)
  16. 2.6 結言 / p39 (0045.jp2)
  17. 第3章 外挿法のk因子決定への応用 / p41 (0047.jp2)
  18. 3.1 序言 / p41 (0047.jp2)
  19. 3.2 実験方法 / p41 (0047.jp2)
  20. 3.3 結果 / p48 (0054.jp2)
  21. 3.4 考察 / p56 (0062.jp2)
  22. 3.5 結言 / p58 (0064.jp2)
  23. 第4章 外挿法の相分析への応用 / p61 (0067.jp2)
  24. 4.1 序言 / p61 (0067.jp2)
  25. 4.2 実験方法 / p61 (0067.jp2)
  26. 4.3 結果および考察 / p63 (0069.jp2)
  27. 4.4 結言 / p76 (0082.jp2)
  28. 第5章 X線吸収差(DXA)法の原理 / p81 (0087.jp2)
  29. 5.1 序言 / p81 (0087.jp2)
  30. 5.2 膜厚決定 / p81 (0087.jp2)
  31. 5.3 組成決定 / p82 (0088.jp2)
  32. 5.4 精度 / p83 (0089.jp2)
  33. 5.5 精度に及ぼす諸因子の検討 / p87 (0093.jp2)
  34. 5.6 DXA法の有効性の評価 / p92 (0098.jp2)
  35. 5.7 考察 / p94 (0100.jp2)
  36. 5.8 結言 / p96 (0102.jp2)
  37. 第6章 DXA法による膜厚決定 / p97 (0103.jp2)
  38. 6.1 序言 / p97 (0103.jp2)
  39. 6.2 実験方法 / p97 (0103.jp2)
  40. 6.3 結果および考察 / p98 (0104.jp2)
  41. 6.4 結言 / p111 (0117.jp2)
  42. 第7章 DXA法の拡散係数測定への応用 / p112 (0118.jp2)
  43. 7.1 序言 / p112 (0118.jp2)
  44. 7.2 実験方法 / p112 (0118.jp2)
  45. 7.3 結果および考察 / p114 (0120.jp2)
  46. 7.4 結言 / p118 (0124.jp2)
  47. 第8章 結論 / p120 (0126.jp2)
  48. 8.1 外挿による吸収補正法の提案とその原理について / p120 (0126.jp2)
  49. 8.2 外挿法のk因子決定への応用について / p121 (0127.jp2)
  50. 8.3 外挿法の相分析への応用について / p121 (0127.jp2)
  51. 8.4 X線吸収差(DXA)法の原理と一般化について / p122 (0128.jp2)
  52. 8.5 DXA法による膜厚決定について / p123 (0129.jp2)
  53. 8.6 DXA法の拡散係数測定への応用について / p123 (0129.jp2)
  54. 8.7 今後の展望 / p124 (0130.jp2)
  55. 謝辞 / p126 (0132.jp2)
  56. 参考文献 / p127 (0133.jp2)
3アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000082559
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000082768
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000246873
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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