三次元電子レンズのシミュレーションに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
三次元電子レンズのシミュレーションに関する研究
- 著者名
-
奥田, 荘一郎
- 著者別名
-
オクダ, ソウイチロウ
- 学位授与大学
-
東京大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第9825号
- 学位授与年月日
-
1990-09-19
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 1 序論 / p5 (0006.jp2)
- 1.1 本研究の背景 / p5 (0006.jp2)
- 1.2 従来のシミュレーション手法 / p13 (0010.jp2)
- 1.3 本研究で解決しようとする課題 / p15 (0011.jp2)
- 1.4 論文の構成 / p19 (0013.jp2)
- 2 三極部の位相測定 / p23 (0016.jp2)
- 2.1 位相空間法の歴史 / p24 (0017.jp2)
- 2.2 初期条件と位相空間 / p24 (0017.jp2)
- 2.3 位相特性 / p25 (0017.jp2)
- 2.4 位相特性の測定装置 / p29 (0019.jp2)
- 2.5 測定結果 / p35 (0022.jp2)
- 2.6 シミュレーションへの適用 / p39 (0024.jp2)
- 2.7 本章のまとめ / p44 (0027.jp2)
- 3 軌道計算法とその最適化 / p45 (0028.jp2)
- 3.1 方程式 / p45 (0028.jp2)
- 3.2 連立常微分方程式の数値解法に対する要請 / p48 (0030.jp2)
- 3.3 既存のアルゴリズム / p48 (0030.jp2)
- 3.4 アルゴリズムの改良 / p50 (0031.jp2)
- 3.5 誤差許容値の最適化 / p51 (0031.jp2)
- 3.6 本章のまとめ / p54 (0033.jp2)
- 4 電界の計算方法とその高精度化 / p55 (0034.jp2)
- 4.1 表面電荷法を選択した理由 / p56 (0035.jp2)
- 4.2 表面電荷法の基本式 / p56 (0035.jp2)
- 4.3 桁落防止のアルゴリズム / p59 (0036.jp2)
- 4.4 アルゴリズムの検証 / p60 (0037.jp2)
- 4.5 本章のまとめ / p67 (0040.jp2)
- 5 ソフトウェアの構成 / p69 (0042.jp2)
- 5.1 ソフトウェアの体系 / p69 (0042.jp2)
- 5.2 表面電荷密度の計算 / p71 (0043.jp2)
- 5.3 軌道解析 / p73 (0044.jp2)
- 5.4 プリ/ポスト処理 / p73 (0044.jp2)
- 5.5 本章のまとめ / p81 (0048.jp2)
- 6 電極寸法の改良法 / p83 (0050.jp2)
- 6.1 本手法の概要 / p84 (0051.jp2)
- 6.2 基本方程式 / p84 (0051.jp2)
- 6.3 感度の計算法 / p86 (0052.jp2)
- 6.4 変数の選択 / p87 (0052.jp2)
- 6.5 本章のまとめ / p88 (0053.jp2)
- 7 シミュレーションの適用例 / p89 (0054.jp2)
- 7.1 XF形電子レンズ / p90 (0055.jp2)
- 7.2 DBS方式電子銃 / p100 (0060.jp2)
- 7.3 本章のまとめ / p111 (0065.jp2)
- 8 結論 / p113 (0067.jp2)
- 8.1 まとめ / p113 (0067.jp2)
- 8.2 今後の展開 / p116 (0069.jp2)
- 8.3 謝辞 / p116 (0069.jp2)