半導体製造装置における超精密光学系の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
半導体製造装置における超精密光学系の研究
- 著者名
-
鈴木, 章義
- 著者別名
-
スズキ, アキヨシ
- 学位授与大学
-
東京大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第10024号
- 学位授与年月日
-
1991-02-14
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 緒言 / p1 (0004.jp2)
- 第1章 IC製造光学系でのパーシャリーコヒーレント結像論 / p4 (0006.jp2)
- §1-1 緒言 / p4 (0006.jp2)
- §1-2 基本式の導出 / p5 (0006.jp2)
- §1-3 理想結像 / p10 (0009.jp2)
- §1-4 デフォーカス / p22 (0015.jp2)
- §1-5 結語 / p31 (0019.jp2)
- References / p32 (0020.jp2)
- 第2章 ミラー結像系の解析 / p43 (0025.jp2)
- §2-1 緒言 / p43 (0025.jp2)
- §2-2 等倍2枚鏡系の定性的説明 / p43 (0025.jp2)
- §2-3 基本的諸量の導出 / p47 (0027.jp2)
- §2-4 像面特性の解析 / p52 (0030.jp2)
- §2-5 メリジオナル結像の解析 / p63 (0035.jp2)
- §2-6 サジタル結像の解析 / p71 (0039.jp2)
- §2-7 数値例 / p76 (0042.jp2)
- §2-8 2枚鏡系の発展 / p78 (0043.jp2)
- §2-9 結語 / p79 (0043.jp2)
- References / p80 (0044.jp2)