酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究
- Author
-
白井, 宏子
- Author(Another name)
-
シライ, ヒロコ
- University
-
大阪大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第5592号
- Degree year
-
1992-01-22
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 緒言 / p1 (0005.jp2)
- 1.2 エレクトロクロミズムの一般的考察 / p4 (0007.jp2)
- 参考文献 / p11 (0010.jp2)
- 第2章 蒸着酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性 / p16 (0013.jp2)
- 2.1 緒言 / p16 (0013.jp2)
- 2.2 実験方法 / p16 (0013.jp2)
- 2.3 膜の物性と基板温度の関係 / p22 (0016.jp2)
- 2.4 エレクトロクロミック特性と基板温度の関係 / p28 (0019.jp2)
- 2.5 実験結果の検討 / p30 (0020.jp2)
- 2.6 結言 / p31 (0020.jp2)
- 参考文献 / p33 (0021.jp2)
- 第3章 高周波スパッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性 / p34 (0022.jp2)
- 3.1 緒言 / p34 (0022.jp2)
- 3.2 高周波スパッタ法による膜の製作手順 / p34 (0022.jp2)
- 3.3 膜の物性とスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力の関係 / p36 (0023.jp2)
- 3.4 エレクトロクロミック特性とスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力の関係 / p44 (0027.jp2)
- 3.5 実験結果の検討 / p49 (0029.jp2)
- 3.6 結言 / p51 (0030.jp2)
- 参考文献 / p53 (0031.jp2)
- 第4章 高周波反応性スパッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性 / p54 (0032.jp2)
- 4.1 緒言 / p54 (0032.jp2)
- 4.2 高周波反応性スパッタ法による膜の製作手順 / p54 (0032.jp2)
- 4.3 膜の物性とスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力の関係 / p56 (0033.jp2)
- 4.4 エレクトロクロミック特性とスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力の関係 / p64 (0037.jp2)
- 4.5 実験結果の検討 / p68 (0039.jp2)
- 4.6 結言 / p69 (0039.jp2)
- 参考文献 / p71 (0040.jp2)
- 第5章 直流反応性スパッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性 / p72 (0041.jp2)
- 5.1 緒言 / p72 (0041.jp2)
- 5.2 直流反応性スパッタ法による膜の製作手順 / p72 (0041.jp2)
- 5.3 膜の物性とスパッタ雰囲気の酸素濃度の関係 / p75 (0042.jp2)
- 5.4 エレクトロクロミック特性とスパッタ雰囲気の酸素濃度の関係 / p81 (0045.jp2)
- 5.5 実験結果の検討 / p83 (0046.jp2)
- 5.6 スパッタ酸化タングステン膜のエレクトロクロミック特性に関する考察 / p84 (0047.jp2)
- 5.7 結言 / p85 (0047.jp2)
- 参考文献 / p87 (0048.jp2)
- 第6章 エレクトロクロミック特性に及ぼす諸因子の影響 / p88 (0049.jp2)
- 6.1 緒言 / p88 (0049.jp2)
- 6.2 エレクトロクロミズムの律速過程 / p89 (0049.jp2)
- 6.3 着色時の酸化タングステン膜の組成 / p101 (0055.jp2)
- 6.4 エレクトロクロミズムによる膜の着色飽和 / p102 (0056.jp2)
- 6.5 エレクトロクロミズムと着色中心濃度 / p108 (0059.jp2)
- 6.6 エレクトロクロミックセルの電気的等価回路 / p111 (0060.jp2)
- 6.7 結言 / p113 (0061.jp2)
- 参考文献 / p115 (0062.jp2)
- 第7章 エレクトロクロミックセルの特性 / p116 (0063.jp2)
- 7.1 緒言 / p116 (0063.jp2)
- 7.2 酸化スズ透明電極 / p116 (0063.jp2)
- 7.3 非対称型エレクトロクロミックセルの特性 / p125 (0067.jp2)
- 7.4 対称型エレクトロクロミックセルの特性 / p129 (0069.jp2)
- 7.5 エレクトロクロミックセルの最適構造と動作設計 / p137 (0073.jp2)
- 7.6 結言 / p137 (0073.jp2)
- 参考文献 / p139 (0074.jp2)
- 第8章 結論 / p141 (0075.jp2)
- 謝辞 / p145 (0077.jp2)
- 研究業績 / p146 (0078.jp2)
