グロー放電におけるスパッタリングならびに析出現象の分光化学的測定による研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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グロー放電におけるスパッタリングならびに析出現象の分光化学的測定による研究
- 著者名
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辻, 幸一
- 著者別名
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ツジ, コウイチ
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
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甲第4636号
- 学位授与年月日
-
1992-03-27
注記・抄録
博士論文
博士学位論文 (Thesis(doctor))
目次
- 目次 / (0007.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0009.jp2)
- 1-1 グロー放電プラズマの工業的利用 / p1 (0009.jp2)
- 1-2 プラズマ診断に用いられている分析手法 / p3 (0010.jp2)
- 1-3 本研究の目的 / p6 (0011.jp2)
- 1-4 本論文の構成 / p6 (0011.jp2)
- 1-5 参考文献 / p8 (0012.jp2)
- 第2章 グロー放電プラズマ / p10 (0014.jp2)
- 2-1 グロー放電プラズマの構造 / p10 (0014.jp2)
- 2-2 グロー放電の維持機構 / p12 (0015.jp2)
- 2-3 プラズマからの可視紫外光の発光 / p26 (0022.jp2)
- 2-4 プラズマー固体表面反応 / p35 (0026.jp2)
- 2-5 参考文献 / p46 (0032.jp2)
- 第3章 Grimm･グロー放電発光分光法による深さ方向分析 / p48 (0033.jp2)
- 3-1 緒言 / p48 (0033.jp2)
- 3-2 実験方法 / p49 (0033.jp2)
- 3-3 純金属上の酸化皮膜に対する深さ方向分析 / p57 (0037.jp2)
- 3-4 Cu-Ni酸化皮膜の深さ方向分析 / p66 (0042.jp2)
- 3-5 Fe-Cr酸化皮膜の深さ方向分析 / p78 (0048.jp2)
- 3-6 深さ方向分析における放電時間の深さ方向距離への変換 / p84 (0051.jp2)
- 3-7 結言 / p101 (0059.jp2)
- 3-8 参考文献 / p103 (0060.jp2)
- 第4章 グロー放電における化学スパッタリング / p105 (0062.jp2)
- 4-1 緒言 / p105 (0062.jp2)
- 4-2 実験方法 / p107 (0063.jp2)
- 4-3 Ar-H₂プラズマにおける化学スパッタリング / p112 (0065.jp2)
- 4-4 He-H₂プラズマにおける化学スパッタリング / p154 (0086.jp2)
- 4-5 結言 / p197 (0108.jp2)
- 4-6 参考文献 / p199 (0109.jp2)
- 第5章 グロー放電における炭素析出現象 / p201 (0110.jp2)
- 5-1 緒言 / p201 (0110.jp2)
- 5-2 実験方法 / p203 (0111.jp2)
- 5-3 H₂-CH₄プラズマにおける炭素析出現象 / p205 (0112.jp2)
- 5-4 Ar-CH₄プラズマにおける炭素析出現象 / p231 (0125.jp2)
- 5-5 結言 / p287 (0153.jp2)
- 5-6 参考文献 / p289 (0154.jp2)
- 第6章 総括 / p291 (0155.jp2)
- 謝辞 / p296 (0157.jp2)