MOVPEによるZnS,ZnCdS膜の成長および青色発光素子への応用の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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MOVPEによるZnS,ZnCdS膜の成長および青色発光素子への応用の研究
- 著者名
-
山賀, 重來
- 著者別名
-
ヤマガ, シゲキ
- 学位授与大学
-
東京工業大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第2313号
- 学位授与年月日
-
1992-02-29
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
- 1.2 本研究の目的 / p4 (0008.jp2)
- 1.3 本研究の構成 / p6 (0009.jp2)
- 参考文献 / p8 (0010.jp2)
- 第2章 MOVPEによるZnS,CdS膜の成長 / p10 (0011.jp2)
- 2.1 はじめに / p10 (0011.jp2)
- 2.2 成長法と成長装置 / p11 (0011.jp2)
- 2.3 減圧MOVPEによるZnS膜の成長 / p16 (0014.jp2)
- 2.4 減圧MOVPEによるCdS膜の成長 / p28 (0020.jp2)
- 2.5 第2章のまとめ / p33 (0022.jp2)
- 参考文献 / p34 (0023.jp2)
- 第3章 MOVPEによるn型ZnS膜の物性制御 / p35 (0023.jp2)
- 3.1 はじめに / p35 (0023.jp2)
- 3.2 A1ドープZnS膜の特性 / p37 (0024.jp2)
- 3.3 C1ドープZnS膜の特性 / p47 (0029.jp2)
- 3.4 ヨウ素ドープZnS膜の特性 / p52 (0032.jp2)
- 3.5 第3章のまとめ / p62 (0037.jp2)
- 参考文献 / p64 (0038.jp2)
- 第4章 MOVPEによるZnCdS混晶膜の成長 / p66 (0039.jp2)
- 4.1 はじめに / p66 (0039.jp2)
- 4.2 減圧MOVPEによるZnCdS混晶膜の成長 / p67 (0039.jp2)
- 4.3 ヨウ素ドープZnCdS混晶薄膜の特性 / p76 (0044.jp2)
- 4.4 第4章のまとめ / p89 (0050.jp2)
- 参考文献 / p90 (0051.jp2)
- 第5章 MπS型ZnS青色LEDの最適設計 / p91 (0051.jp2)
- 5.1 はじめに / p91 (0051.jp2)
- 5.2 ZnS青色LEDの発光機構 / p92 (0052.jp2)
- 5.3 MπS型LEDの動作解析 / p100 (0056.jp2)
- 5.4 MπS型LEDの最適設計 / p108 (0060.jp2)
- 5.5 第5章のまとめ / p112 (0062.jp2)
- 参考文献 / p113 (0062.jp2)
- 第6章 パルスフローMOVPEによるZnS膜の原子層成長 / p114 (0063.jp2)
- 6.1 はじめに / p114 (0063.jp2)
- 6.2 パルスフローMOVPE装置 / p116 (0064.jp2)
- 6.3 パルスフローMOVPEによるZnS膜の成長 / p121 (0066.jp2)
- 6.4 第6章のまとめ / p132 (0072.jp2)
- 参考文献 / p133 (0072.jp2)
- 第7章 エピタキシャルZnS膜を用いたMπS型青色LEDの作製及びその特性 / p134 (0073.jp2)
- 7.1 はじめに / p134 (0073.jp2)
- 7.2 MπS型青色LEDの作製及びその特性 / p135 (0073.jp2)
- 7.3 MπS型LEDの基板界面特性 / p142 (0077.jp2)
- 7.4 第7章のまとめ / p151 (0081.jp2)
- 参考文献 / p152 (0082.jp2)
- 第8章 結論 / p153 (0082.jp2)
- 8.1 本研究で得られた成果 / p153 (0082.jp2)
- 8.2 今後の展望 / p156 (0084.jp2)
- 本研究に関する論文 / p158 (0085.jp2)
- 本研究に関する学会発表 / p160 (0086.jp2)
- 謝辞 / p164 (0088.jp2)
